FEG-SEM

Etusivu » SEM - Elektroni­mikroskoopit » FEG-SEM

FEG-SEM laitevaihtoehdot

Tescanin kenttäemissioelektronimikroskooppeja (FEG-SEM) on kolme erilaista (MIRA 4, CLARA ja MAGNA). Tescanin kenttäemissioelektronimikroskooppi hyödyntää Schottky-tyyppistä kenttäemissioon perustuvaa elektronilähdettä, usein kutsutaan myös elektronitykiksi (FEG = Field Emission Gun). Kenttäemission avulla elektronisäteen koko voidaan saada jo muodostumisvaiheessa huomattavasti perinteisen termiseen lähteeseen verrattua pienemmäksi. Kenttäemissio elektronilähteen ja elektronimikroskoopin rakenteen avulla voidaan saavuttaa jopa alle nanometrin lateraaliresoluutio.

Kaikkiin kenttäemissioelektronimikroskooppeihin on saatavilla kaksi eri kammiokokoa, jotka mahdollistavat suurempienkin näytteiden kuvaamisen ja analysoimisen erinäisin menetelmin. Kaikkien kenttäemissolaitteiden näytepöytä on myös täysin moottoroitu ja pöytä on myös 5-akselinen (X, Y, Z, pyöritys sekä kallistus). Kaikkiin kenttäemissioelektronimikroskooppeihin on asennettavissa kolmannen osapuolen ratkaisuja, kuten EDS-, WDS- ja EBSD-detektoreja.

Tescanin kenttäemissioelektronimikroskoopit hyödyntävät samaa Essence ohjelmistoa kuin muutkin Tescanin elektronimikroskoopit. Ohjelmisto mahdollistaa laitteiston kokonaisvaltaisen hyödyntämisen käyttäjäystävällisesti ja ohjelmistoon on mahdollista ohjelmoida erillisiä käyttäjäprofiileita jokaiselle käyttäjälle ja luoda esitallennettuja kuvausproseduureja eri tyyppisille näytteille.

Kysy lisää

Näytetään kaikki 4 tulosta

MIRA 4

Tescan MIRA 4 sarjan kenttäemissioelektronimikroskooppi on saatavilla kahdella erikokoisella kammiolla. Keskikokoisella kammiolla (LM) varustetulla laitteella voidaan kuvata näytettä joka on kooltaan 145 x 145 mm. Vastaavasti suurella (GM) kammiolla varustetulla laitteella voidaan kuvata ja analysoida näytettä, jonko koko on 335 x 315 mm. Eri kokoiset kammiot myös mahdollistavat erilaisten lisäosien asennuksen kammion kyljissä olevista porteistä. Keskikokoisessa kammiossa näitä portteja on 12+ ja suuressa 20+.

MIRA 4 kenttäemissioelektronimikroskooppi kykenee kuvaamaan lähes nanometrin resoluutiolla, parhaimmillaa SE detektoria käyttäen 30keV kiihdytysjännitteellä päästään 1,2nm resoluutioon. Alhaisilla kiihdytysjännitteilläkin on mahdollista kuvata jopa 1,8nm resoluutiolla olevia kuvia. Alhaisen kiihdytysjännitteen huippuresoluutioiset kuvat mahdollistaa MIRA 4 laitteistoon suunnitellut, optioina saatavat, kolumnin sisällä (In-Beam) olevat SE- ja BSE-detektorit ja elektronisäteen hidastusteknologia (BDT = Beam Deceleration Technology). BDT ja  In-Beam detektorit eivät kuulu normaalikokoonpanoon ja ovatkin saatavilla lisäosina.

MIRA 4 laitteiston vakiokokoonpanoon kuuluu SingleVac ominaisuus, joka mahdollistaa heikommin johtavien näytteiden kuvaamisen. SingleVac ominaisuus nostaa kammion paineen noin 30 Pascaliin, jolloin näytteen varautuminen pystytään minimoimaan. Mikäli 30 pascalin vakiopaine ei ole riittävä niin MIRA 4 on saatavilla MultiVac ominaisuus, jolla painetta voidaan säätää portaattomasti 1 – 700 pascalin välillä.

Tescanin mallistoon on tuotu oma integroitu Essence EDS, joka on mahdollista asentaa jo valmiiksi elektronimikroskooppiin. Tescanin Essence EDS hyödyntää samaa käyttöliittymää kuin elektronimikroskooppikin, jolloin kolmannen osapuolen detektoreita tai analyysiohjelmaa ei ole välttämätöntä hankkia.

CLARA

Tescan CLARA laitteistosta on saatavilla samat kammiokoot kuin MIRA 4 laitteistostakin (LM/GM), mutta CLARA poikkeaa MIRA 4 mallistosta elektronikolumnin puolelta merkittävästi. CLARA elektronimikroskoopissa on BrightBeam elektroni kolumni, joka mahdollistaa erittäin alhaisten kiihdytysjänniteiden hyödyntämisen korjaamalla elektronisäteen vääristymiä ja parantamalla emittoituneiden elektronien intensiteettiä. Tämä myös osaltaan mahdollistaa heikosti johtavien näytteiden kuvaamisen.

CLARA elektronimikroskoopissa on mahdollista suodattaa elektroneja niiden energian ja emittoitumiskulman mukaisesti, niin kutsutun multidetektorin avulla. Tällä detektorilla on mahdollista saada erittäin tarkkaa pinnanmuoto- että koostumuksellista informaatiota, mitä ei normaaleilla detektoreille välttämättä pystytä näkemään. Multidetektori on sijoitettu elektronikolumniin, vastaavasti kuin kolumnin sisällä olevat SE- ja BSE-detektorit. Kun yhdistetään BrightBeam teknologia ja multidetektori niin CLARAlla lähestytään jo immersiolinssien mahdollistamaa resoluutiota. Tästä syystä CLARA luokitellaan UHR elektronimikroskoopiksi (UHR = Ultra High Resolution).

CLARA elektronimikroskooppiin on myös mahdollista saada MultiVac ominaisuus, jolla kammion painetta voidaan säätää 7 – 500 Pascalin välissä. CLARA kuten MIRA 4 laitteistoki hyödyntää samaa Tescanin Essence ohjelmaa, johon voidaan konfiguroida eri käyttäjille omia tilejä ja mahdollisesti eri tyyppisille näytteille omia proseduureja.

MAGNA

Ultrakorkean resoluution MAGNA-sarjassa kenttäemissiolähteen suorituskyky viedään äärimmilleen Triglav™-kolumnin ja erityisen immersiolinssin avulla. Linssiratkaisu mahdollistaa korkean resoluution myös erittäin alhaisilla kiihdytysjännitteillä, mikä helpottaa eristävien näytteiden kuvantamista. Äärimmäisen suorituskyvyn, hyvän käytettävyyden ja monipuolisten detektorioptioiden ansiosta MAGNA on erinomainen laite vaativiin sovelluksiin.

Tescan MAGNA elektronimikroskooppiin on saatavilla samat kammiokoot ja lisäominaisuudet, kuten MultiVac, kuin CLARA elektronimikroskooppiinkin.

Ota yhteyttä, neuvomme mielellämme lisää!

Finfocus Instruments Oy tuo maahan, myy ja huoltaa laitteita metallien, muiden materiaalien ja maaperän analysointiin, mittaamiseen, tutkimiseen sekä näytteiden käsittelyyn. Laitetoimitukseen sisältyy aina käyttökoulutus.

Finfocus Instruments Oy

Hiomotie 32
00380 Helsinki
info@finfocus.fi
010 328 9980

 

luotettava kumppani logo

tescan logo nenovision logo

quorum logo

metkon logo

 

 

Copyright © 2024 Finfocus Instruments Oy