FEG-SEM laitevaihtoehdot

Tescanin kenttäemissioelektronimikroskooppeja (FEG-SEM) on kolme erilaista (MIRA 4, CLARA ja MAGNA). Tescanin kenttäemissioelektronimikroskooppi hyödyntää Schottky tyyppistä kenttäemissioon perustuvaa elektronilähdettä, usein kutsutaan myös elektronitykiksi (FEG = Field Emission Gun). Kenttäemission avulla elektronisäteen koko voidaan saada jo muodostumisvaiheessa huomattavasti perinteisen termiseen lähteeseen verrattua pienemmäksi. Kenttäemissio elektronilähteen ja elektronimikroskoopin rakenteen avulla voidaan saavuttaa jopa alle nanometrin lateraaliresoluutio.

Kaikkiin kenttäemissioelektronimikroskooppeihin on saatavilla kaksi eri kammiokokoa, jotka mahdollistavat suurempienkin näytteiden kuvaamisen ja analysoimisen erinäisin menetelmin. Kaikkien kenttäemissolaitteiden näytepöytä on myös täysin moottoroitu ja pöytä on myös 5-akselinen (X, Y, Z, pyöritys sekä kallistus). Kaikkiin kenttäemissioelektronimikroskooppeihin on asennettavissa kolmannen osapuolen ratkaisuja, kuten EDS, WDS ja EBSD detektoreja.

Tescanin kenttäemissioelektronimikroskoopit hyödyntävät samaa Essence ohjelmistoa kuin muutkin Tescanin elektronimikroskoopit. Ohjelmisto mahdollistaa laitteiston kokonaisvaltaisen hyödyntämisen käyttäjäystävällisesti. Ohjelmistoon on mahdollista ohjelmoida erillisiä käyttäjäprofiileita jokaiselle käyttäjälle ja luoda esitallennettuja kuvausproseduureja eri tyyppisille näytteille.

Lisätietoa eri laitevaihtoehdoista alla:


Lue lisää

MIRA 4 FEG-SEM
Elektronimikroskooppi

  • Analyyttinen kolumni
  • SingleVac vakiona/UniVac optio
  • Resoluutio:
    1,2nm@30keV (SE)

MIRA4 on suorituskykyinen SEM kaikkiin sovelluksiin.

Resoluutio:
1,2nm@30keV (SE), 3,5nm@30keV (in beam SE) ja 1,8nm@1keV (BDT:n kanssa)

SingleVac:
2,0nm@30keV (BSE) ja 1,5nm230keV (LVSTD)

Lataa esite

CLARA (UHR) FEG-SEM
Elektronimikroskooppi

  • BrightBeam™ UHR Kolumni
  • UniVac optiona
  • Resoluutio:
    0,8nm@30keV (STEM)


BrightBeam™ SEM kolumni ja uudet in-beam aksiaaliset detektorit. CLARA on korkean resoluution SEM kaikkiin sovelluksiin.

Resoluutio: 0,8nm@30keV (STEM), 0,9nm@15keV, 1,4nm@1keV

Lataa esite

MAGNA (UHR) FEG-SEM
Elektronimikroskooppi

  • Triglav™ UHR Kolumni
  • UniVac optiona
  • Resoluutio:
    0,5nm@30keV (STEM)

Triglav™ kolumni ja kehittyneet detektorit. MAGNA tarjoaa äärimmäistä suorituskykyä todella vaativaan SEM-kuvantamiseen. Paras suorituskyky ei-magneettisille näytteille.

Resoluutio: 0,5nm@30keV (STEM), 0,6nm@15keV, 1,2nm@1keV

Lataa esite
Soita 010 328 9980 ja kysy lisää Pyydä demo tai jätä yhteydenottopyyntö

MIRA 4

Tescan MIRA 4 sarjan kenttäemissioelektronimikroskoopisto on saatavilla kaksi erikokoisella kammiolla varustettua laitetta. Keskikokoisella kammiolla (LM) varustetulla laitteella voidaan kuvata näytettä joka on kooltaan 145 x 145 mm. Vastaavasti suurella (GM) kammiolla varustetulla laitteella voidaan kuvata ja analysoida näytettä, jonko koko on 335 x 315 mm. Eri kokoiset kammiot myös mahdollistavat erilaisten lisäosien asennuksen kammion kyljissä olevista porteistä. Keskikokoisessa kammiossa näitä portteja on 12+ ja suuressa 20+.

MIRA 4 kenttäemissioelektronimikroskooppi kykenee kuvaamaan lähes nanometrin resoluutiolla, parhaimmillaa SE detektoria käyttäen 30keV kiihdytysjännitteellä päästään 1,2nm resoluutioon. Alhaisilla kiihdytysjännitteilläkin on mahdollista kuvata jopa 1,8nm resoluutiolla olevia kuvia. Alhaisen kiihdytysjännitteen huippuresoluutioiset kuvat mahdollistaa MIRA 4 laitteistoon suunnitellut kolumnin sisällä (In-Beam) olevat SE- ja BSE-detektorit ja elektronisäteen hidastusteknologia (BDT = Beam Deceleration Technology). BDT ja  In-Beam detektorit eivät kuulu normaalikokoonpanoon ja ovatkin saatavilla lisäosina.

MIRA 4 laitteiston vakiokokoonpanoon kuuluu SingleVac ominaisuus, joka mahdollistaa heikommin johtavien näytteiden kuvaamisen. SingleVac ominaisuus nostaa kammion paineen noin 30 Pascaliin, jolloin näytteen varautuminen pystytään minimoimaan. Mikäli 30 pascalin vakiopaine ei ole riittävä niin MIRA 4 on saatavilla UniVac ominaisuus, jolla painetta voidaan säätää portaattomasti 7 - 500 pascalin välillä.

Tescanin mallistoon on tuotu oma integroitu Essence EDS, joka on mahdollista asentaa jo valmiiksi elektronimikroskooppiin. Tescanin Essence EDS hyödyntää samaa käyttöliittymää kuin elektronimikroskooppikin, jolloin kolmannen osapuolen detektoreita tai analyysiohjelmaa ei ole välttämätöntä hankkia.

CLARA

Tescan CLARA laitteistosta on saatavilla samat kammiokoot kuin MIRA 4 laitteistostakin (LM/GM), mutta CLARA poikkeaa MIRA 4 mallistosta elektronikolumnin puolelta merkittävästi. CLARA elektronimikroskoopissa on BrightBeam elektroni kolumni, joka mahdollistaa erittäin alhaisten kiihdytysjänniteiden hyödyntämisen korjaamalla elektronisäteen vääristymiä ja parantamalla emittoituneiden elektronien intensiteettiä. Tämä myös osaltaan mahdollistaa heikosti johtavien näytteiden kuvaamisen.

CLARA elektronimikroskoopissa on mahdollista suodattaa elektroneja niiden energian ja emittoitumiskulman mukaisesti, niin kutsutun multidetektorin avulla. Tällä detektorilla on mahdollista saada erittäin tarkkaa pinnanmuoto- että koostumuksellista informaatiota, mitä ei normaaleilla detektoreille välttämättä pystytä näkemään. Multidetektori on sijoitettu elektronikolumniin, vastaavasti kuin kolumnin sisällää olevat SE ja BSE detektorit. Kun yhdistetään BrightBeam teknologia ja multidetektori niin CLARAlla lähestytään jo immersiolinssien mahdollistamaa resoluutiota. Tästä syystä CLARA luokitellaan UHR elektronimikroskoopiksi (UHR = Ultra High Resolution).

CLARA elektronimikroskooppiin on myös mahdollista saada UniVac ominaisuus, jolla kammion painetta voidaan säätää 7 - 500 Pascalin välissä. CLARA kuten MIRA 4 laitteistoki hyödyntää samaa Tescanin Essence ohjelmaa, johon voidaan konfiguroida eri käyttäjille omia tilejä ja mahdollisesti eri tyyppisille näytteille omia proseduureja.

MAGNA

Ultrakorkean resoluution MAGNA-sarjassa kenttäemissiolähteen suorituskyky viedään äärimmilleen Triglav™-kolumnin ja erityisen immersiolinssin avulla. Linssiratkaisu mahdollistaa korkean resoluution myös erittäin alhaisilla kiihdytysjännitteillä, mikä helpottaa eristävien näytteiden kuvantamista. Äärimmäisen suorituskyvyn, hyvän käytettävyyden ja monipuolisten detektorioptioiden ansiosta MAGNA on erinomainen laite vaativiin sovelluksiin.

Tescan MAGNA elektronimikroskooppiin on saatavilla samat kammiokoot ja lisäominaisuudet, kuten UniVac, kuin CLARA elektronimikroskooppiinkin.