Tekniset tiedot
| Elektronilähde | Volframi filamentti (W) |
| Resoluutio | <3nm |
| Suurennoskyvykkyys | 9x – 500,000x |
| Kiihdytysjännite | 1 – 30kV |
| Näytepöytä | X : 60mm, Y : 60mm, Z : 60mm, |
| R : 360, T : 20 ~ 90º | |
| Standardi detektorit | SE, BSE |
| Kuvantamismoodit | HV, LV(20Pa)*, VP(10, 20, 30Pa)* |
| Vakuumijärjestelmä | Turbopumppu (300L) Rotary pumppu (100L) |
| Mitat ja paino (W x L x H) | 640(W) × 682(L) × 1,432(H)mm, 200kg |
| Ominaisuudet | Panorama v2 Auto focus Auto brightness & contrast Auto start Signal mixing Triple display & Save Line profile Image filtering Annotation tool ChamberCam |
| Dataformaatit | JPG, TIFF, BMP |
| Optiot* | EBSD, STEM Coolstage LV – Low Vacuum (20Pa) VP – Variable Pressure (10/20/30Pa) NanofiberScanner Scroll pump Air-protection module EDS (Oxford, Bruker) |
