Tescan SEM / VEGA-laitteet

VEGA 4 sarjan elektronimikroskoopit (SEM) ovat luotettavia ja edullisia peruslaitteistoja. VEGA 4 sarjan laitteissa hyödynnetään termiseen emissioon perustuvaa wolframi (W) elektronilähdettä.

VEGA 4 sarjan elektronimikroskoopit pääsevät kaikki samoihin resoluutio alueisiin riippumatta mallista (Compact/LM/GM). Parhaimmillaan voidaan päästä jopa 3nm resoluutioon 30keV kiihdytysjännitteellä ja pienemmälläkin kiihdytysjännitteellä 3keV saavutetaan vielä 8nm resoluutio. Lisäksi kaikissa malleissa on täysin moottoroitu 5-akselinen (X, Y, Z, pyöritys sekä kallistus) näytepöytä, joka mahdollistaa kammiokoosta riippuen, jopa 8kg painoisen näytteen liikuttelun (X, Y, Z).

VEGA 4 sarjan laitteisiin on tuotu uusi, Tescanin muissa elektronimikroskoopeista tutuksi tullut Essence ohjelmisto, joka mahdollistaa laitteiston kokonaisvaltaisen hyödyntämisen käyttäjäystävällisesti. Ohjelmistoon on mahdollista ohjelmoida erillisiä käyttäjäprofiileita jokaiselle käyttäjälle ja luoda esitallennettuja kuvausproseduureja eri tyyppisille näytteille.

Lisätietoa eri laitevaihtoehdoista alla:


Lue lisää

VEGA 4 Compact
Elektronimikroskooppi

  • Keskikokoinen kammio
  • High Vacuum laitteisto
  • Resoluutio: 3nm @ 30keV, 8nm @ 3keV

 

Tescan VEGA 4 Compact on täydellinen valinta jokapäiväiseen rutiinianalytiikkaan sekä kuvantamiseen, kun tarve on mikrometriluokan erotuskyvylle (saavutettavissa oleva resoluutio 3nm).

Lataa esite

VEGA 4 LM SEM
Elektronimikroskooppi

  • Keskikokoinen kammio
  • SingleVac (30Pa) mukana
  • Resoluutio: 3nm @ 30keV,  8nm @ 3keV


VEGA4 LM on myydyin VEGA-sarjan laitteista. Sen kammioon mahtuvat hyvin tyypillisimmät SEM näytteet. Laitteiston resoluutio soveltuu hyvin useimpien näytteiden rakenteen kuvantamiseen.

Lataa esite

VEGA 4 GM SEM
Elektronimikroskooppi

  • Erikoissuuri kammio
  • SingleVac (30Pa) mukana
  • Resoluutio: 3nm @ 30keV, 8nm @ 3keV

 

VEGA4 GM tarkoitettu erityisen suurille näytteille ja järjestelmille, joihin liitetään useita detektoreita (esim. EDS, WDS, EBSD, jne). Suuri kaamiokoko mahdollistaa myös suurempien ja painavampien näytteiden kuvantamisen. Kappale voi painaa jopa 8kg.

Lataa esite
Soita 010 328 9980 ja kysy lisää Pyydä demo tai jätä yhteydenottopyyntö

Tescan VEGA 4 LM/GM

VEGA 4 sarjan elektronimikroskoopeista on saatavilla kaksi eri kammiokokoista mallia. LM kammiokoko kattaa useimmat normaaliksi luokiteltavat näyte koot, sillä kammion sisähalkaisija on 230mm. LM kammioon on mahdollista asettaa 145x145mm kokoinen näyte. GM kammio on suunniteltu huomattavasti suuremmille näytteille, jolloin näytteiden valmistukselle jää hieman enemmän vaihtoehtoja. GM kammion koko on 340x315mm ja kammioon on mahdollista asettaa 335x310mm kokoinen näyte.

Molempiin laitemalleihin (eri kammiokokoihin) on saatavilla kaksi erilaista kuvantamiskokonaisuutta: SingleVac ja UniVac. Standardi laitteisto sisältää SingleVac ominaisuuden, joka mahdollistaa heikosti johtavien näytteiden kuvaamisen. SingleVac ominaisuutta käyttämällä on mahdollista alentaa elektronimikroskoopin kammiopaine noin 30 Pascaliin, jolloin heikosti johtavien näytteiden varautuminen saadaa kompensoitua ja näytteet voidaan kuvata. Erittäin huonosti johtavien näytteiden kanssa käytettävä UniVac mahdollistaa kammiopaineen alentamisen aina, jopa 7 Pascaliin saakka ja kammionpainetta voidaan tarpeen tullen säätää portaattomasti aina 500 Pascaliin asti (7-500 Pa). UniVav mahdollistaa herkkien, johtamattomien näytteiden kuvantamisen ilman pinnoitusta.

Molempiin kammiovaihtoehtoihin on mahdollista asentaa kolmannen osapuolen lisälaitteita, kuten EDS, WDS ja EBSD detektoreita. Lisälaitteiden määrää rajoittaa kammiossa olevien porttien määrä, joita on LM kammiossa 12+ ja GM kammiossa 20+. Uutuutena laitteistoissa voidaan hyödyntää Tescanin omaa integroitua Essence EDS optiota, jolloin kolmannen osapuolen EDS detektorin ja ohjelmiston hankinta ei ole välttämätöntä.

Tescan VEGA 4 Compact

VEGA 4 Compact vastaa kokoluokaltaan LM kammiokoon laitetta. Kammioon mahtuu 145x145mm kokoinen näyte, jolloin laitteistoa pystytään hyödyntämään useimpien elektronimikroskooppinäytteiden kanssa. Compact malli on hieman riisutumpi versio LM/GM mallin laitteistoista, sillä Compact malli on niin sanottu korkean vakuumin elektronimikroskooppi, johon ei ole saatavilla SingleVac tai UniVac ominaisuutta. Tämän takia Compact malli soveltuukin johtavien näytteiden kuvantamiseen. Huonosti johtavien näytteiden kanssa on suositeltavaa hyödyntää pinnoitusta jollakin johtavalla materiaalilla (Quorumin pinnoituslaitteet).

Compact malliin on mahdollista asentaa, joko kolmannen osapuolen EDS detektori tai Tescanin oma integroitu Essence EDS. Kolmannen osapuolen EDS detektorien kanssa tulee Compact malliin asentaa ohjelmiston lisäosa, joka mahdollistaa kolmannen osapuolen EDS detektorin toimivuuden.

Mikäli VEGA 4 sarjan elektronimikroskoopeista on mitään kysyttävää, niin älkää epäröikö ottamaan yhteyttä Finfocuksen asiantuntijoihin.