XEIA FIB Xe - Triglav™
 



XEIA Ultra high resolution SEM / i-FIB workstation

XEIA on uusi huippuluokan työasema nopeaan ja tehokkaaseen mikro-/nanotason FIB-työskentelyyn, sekä luotettaviin mikroanalyyseihin myös pinnan 3D-kartoituksessa (3D EDX ja EBSD). Laitteistolla on erinomainen resoluutio myös alhaisilla kiihdytysjännitteillä. Integroituina lisälaitteina mm. TOF-SIMS ja SPM.

Uuden Triglav™ columnin ansioista erittäin alhainen resoluutio (0,7nm @ 15kV ja 1nm @ 1kV) ja paras suorituskyky myös alhaisilla kiihdytysjännitteille.

Lue lisää ja lataa esite (13MB)