SEM - FESEM - FIBSEM
 


 


VEGA SEM

VEGA-sarjan mikroskoopeissa käytetään elektronisuihkun lähteenä wolframilankaa tai LaB6-lähdettä. Sarjassa on 6 eri mallia käyttäjän tarpeiden mukaan:

  • kolme kammiovaihtoehtoa näytekoon mukaan (SB=small, LM=large, XM=extra large)
  • yleismalli HiVac tai myös matalissa paineissa toimiva UniVac (esim. huonosti johtaville ja nestepitoisille näytteille)

Lue lisää VEGA3-sarjan laitteiden ominaisuuksista, lataa esite (2MB):

VEGA3 SB  -  kammio ø 160 mm, näytepöydän liike: X = 45 mm, Y = 45 mm, Z = 27 mm
VEGA3 LM  -  kammio ø 230 mm, liike: X = 80 mm, Y = 60 mm, Z = 47 mm
VEGA3 XM  -  kammio 300 x 330 mm, liike: X = 130 mm, Y = 130 mm, Z = 100 mm



MIRA FEG SEM

Uuden sukupolven kenttäemissioon (Schottky Field Emission lähde) perustuva laite, jossa on useita innovatiivisia ratkaisuja sekä optiikassa että ohjelmistossa. Laitesarjassa on 6 eri mallia käyttökohteen ja käyttäjän tarpeen mukaan:

  • kolme kammiovaihtoehtoa näytekoon mukaan (LM=large, XM=extra large, GM=giant)
  • yleismalli HiVac tai myös matalissa paineissa toimiva UniVac (esim. huonosti johtaville näytteille)

Lue lisää MIRA3 FESEM-laitteiden ominaisuuksista, lataa esite (2 MB)



LYRA FIB-FESEM

Monipuolinen työkalu nanoteknologian tutkimuksiin. LYRA-sarjan elektronimikroskoopit ovat kenttäemissiolaitteita (FESEM), joihon on yhdistetty ionisuihku (FIB) ja uusia ominaisuuksia tehostamaan nanotason havainnointia ja analyysejä.

LYRA3 XM  (suuri mittauskammio)
LYRA3 GM  (erikoissuuri kammio)

Sarjan huippumalliin, LYRA3 GM, voidaan integroida yhteen laitteeseen mm. AFM/STM, TOF-SIMS, EBSD, WDX, EDX, CL ja EBIC ja myös muita detektoreita.
Lataa FIB-SEM esite (2 MB)